TiAlSiN涂层的制备及研究进展

摘要

简述了TiAlSiN涂层的应用及制备方法,分析了制备TiAlSiN涂层过程中涂层的微观结构、抗氧化性能、热稳定性能、膜基结合力性能和耐磨性能随着Si含量改变的影响规律。