溅射靶材用铌材的电子束熔炼提纯杂质去除机理研究

摘要

文章采用真空电子束熔炼的方式，对溅射靶材用铌材进行多次提纯。应用GDMS的方法对熔炼后的铌锭端面、中部以及底部杂质含量进行检验，判断铸锭不同位置杂质脱除情况。结果显示，铸锭杂质脱除率与饱和蒸气压差存在对应关系，间隙元素C、N、O主要是以气体形式直接挥发去除，非间隙元素Fe、Si元素含量在铸锭轴向从上到下逐渐减少，Mo、Ta、W、Zr四种元素在铸锭轴向上分布区别并不明显。熔炼后，Ta、W元素含量与原料相比没有变化，Mo、Zr元素含量显著比原料低，非间隙元素为蒸发和定向凝固协同控制脱除机制。