基于DSP的微机械材料力学性能测控系统的设计

摘要

MEMS材料力学性能是MEMS的基础理论研究之一,组成MEMS微构件的许多性能都远远超出了宏观力学和物理规律的范畴,传统的检测技术以不能满足微机械的发展,研制成本低,精度高,使用简单的检测设备和方法是MEMS继续发展的关键。为满足系统对微弱信号的采集和处理,文章设计了通用的测控系统,集高速、高精度、高可靠性为一体。